光学膜厚仪是一种非接触式测量仪器,一般会运用在生产厂商大量生产产品的过程,由于误差经常会导致产品全部报废,这时候就需要运用光学膜厚仪来介入到生产环境,避免这种情况的发生。
1、光源:宽光谱光源;
2、探测器:高灵敏度低噪音阵列式光谱探测器;
3、控制箱:含电路板、控制单元、电源、光源;
4、输出设备:软件界面支持输出、输入光谱数据库。
系统特点:
1、嵌入式在线诊断方式;
2、免费离线分析软件;
3、精细的历史数据功能,帮助用户有效地存储,重现与绘制测试结果;
4、主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一*,技术支持,备件管理和咨询服务。
性能特点:
1、快速测量:仅需1-2秒就可以完成一次测量;
2、测量范围广:可测量膜厚范围从15nm-70um;
3、简洁操作:常规操作,只需点击一个按钮就可完成操作;
4、高效稳定:适用于工业现场,稳定可靠;
5、经济实用:能够满足膜厚的常规测量,成本较低。
光学膜厚仪的使用注意事项:
1、零点校准:在每次使用膜厚仪之前需要进行光学校准,因为之前的测量参数会影响该次对物体的测量,零点校准可以消除前次测量有参数的影响,能够降低测量的结果的误差,使测量结果更加
jīng确;
2、基体厚度不宜过薄:在使用光学膜厚仪对物体进行测量时基体不宜过薄,否则会
jí大程度的影响仪器的测量精度,造成数据结果不准确,影响测量过程的正常进行;
3、物体表面粗糙程度:对于被测物体的表面不宜太过粗糙,因为粗糙的表面容易引起光的衍射,降低了光学膜厚仪的测量精度,造成很大的误差。所以被测物体的表面应该尽量保持光滑,以保证测量结果的
jīng确性。