光学轮廓仪
是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。
光学轮廓仪工作原理：
光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。光学轮廓仪工作原理是基于白光干涉原理而研发生产的，能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，能直观地展示了表面纹理特征。
如表面粗糙度的测量。表面粗糙度跟形状误差、波纹度等参数一样，是表面微观几何特征，它们共同构成了物体的表面原始形貌特征。表面二维形貌特征的分析与评定通常是对粗糙度参数进行的评定，通常把小于lmm波距的形貌特征归结为表面粗糙度，而波距在1~10mm之间的定义为表面波纹度，大于10mm的则属于目测可知的宏观几何形状特征。
其实光学轮廓仪测量表面粗糙度步骤很简单，具体如下：
1、将样品放置在载物台镜头下方；
2、检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
3、使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；
4、完成扫描设置和命名等操作，点击开始测量；
5、进入数据处理模块，点击校平，平面样品采用默认校平，点击右下角应用保存操作；
6、进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准、增删参数类型；
7、如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
8、进入数据处理界面，点击提取剖面图标，选择斜线，沿垂直于纹理方向提取剖面线；
9、进入分析工具界面，点击参数分析图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
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