多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化产品。它采用先进的超声波技术,实现了较好的测量精度,具有优秀重复性和再现性。产品可以在任何生产环境中操作。附带的Windows应用软件管理数据传输和自动超声波波形分析。
目前,产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。同时多层膜厚度测试仪还可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损,且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
多层膜厚度测试仪的特点:
1、可以测量多层膜中每一层的厚度;
2、远程控制和在线测量;
3、丰富的材料库:操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据,基本上常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料;
4、操作简单,测速快:膜厚测量仪操作非常简单;
5、带有可升级的扫描功能,进行薄膜二维的测试,并将结果以2D或3D的形式显示;
6、带有构建材料结构的拓展功能,可对多层薄膜数据进行拟合分析,可对薄膜材料进行预先模拟设计。
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