光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。它建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
目前，光学轮廓仪具有许多和大型机台一样的优点，包括：测量设置简单易学，高速数据采集能力，强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度。可选配自动样品台使仪器实现程序化。
光学轮廓仪的量测性能与其它同类产品相当，但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的Vision分析软件，该软件是行业内功能较全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。Vision软件为用户提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。
产品优势有以下7点：
1、Nikon干涉物镜；
2、TMC光学隔振台；
3、PI纳米移动平台及控制系统；
4、NI信号控制板和Labview64 控制软件；
5、美国硅谷研发的合心技术和系统软件；
6、关键硬件采用美国、德国、日本等品牌；
7、测量准确度重复性达到先进水平（中国计量科学研究院证书）。
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