MicroSense位移传感器简介

一、优势简介：

  MicroSense的高精度电容式位移传在感器，除具有一般非接触式仪器的共性外，还具有信噪比高、灵敏度高、零漂小、频响宽、非线性小、精度稳定性好、抗电磁干扰能力强、使用方便等优点，在国内研究所、高等院校、企业得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种非常重要的测试仪器。

二、特点：

  1、可实现近距离、高精度、非接触式位置测量

  2、分辨率可达亚纳米级直至皮纳米级，在所有商用电容传感器品牌中，噪音ZUI低

  3、提供多种型号的探头，以满足高稳定性、线性或高测量带宽等不同需求

  4、可选择单一通道或多通道（3U欧洲卡机架安装标准）

三、型号简介：

  1、被动式电容位移传感器，代表型号：48XX系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器基于追求最佳的线性和稳定性而设计，测量带宽达20千赫，专用于伺服系统运动行程反馈，尤其是高精密机床的系统伺服运动行程反馈。

  2、主动式电容位移传感器，代表型号：58XX系列，68XX系列

主动式电容传感器突破了纳米分辨率壁垒，实现了亚纳米分辨率与快速响应，测量带宽高达100千赫。

  6810型号擅长高动态测量，即测量对象为高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴、机械轴承机床主轴等。

主要应用的场合是，分辨率要求在1-2nm或更小的跳动测量，如轴向和径向不重复的跳动，或者异步误差运动(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

四、性能：

  1、测量距离在± 5 um到± 1 mm内

  2、高测量带宽（高频率响应）可选范围：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz，100 kHz

  3、适用于任何接地、导电的目标，材料或表面光洁度对精度无影响

  4、分辨率可实现亚纳米级，由传感器探头尺寸、带宽、测量距离共同决定

  5、线性度优于满量程测量的0.025%，由传感器探头尺寸、带宽、测量距离共同决定