本产品主要是用于检测晶圆表面的缺陷。是一套实用的
晶圆缺陷检测光学系统。无论用户对样品检验有什么具体要求，我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
nSpec LS是研发和过程开发的理想系统。它按顺序运行多个扫描。友好的用户界面软件使配置配方变得毫不费力。而且，随着需求的发展，配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自动晶圆缺陷检测功能
·基板，外延和图案化晶圆
·透明和不透明的材料
·在胶片胶带，托盘，凝胶包装或蛋饼形包装上模切
·光罩
·样品碎片
2. 系统特征
·多种分辨率设置，范围从0.25 µm及更高
·快速扫描
·可定制的缺陷报告
·各种样品夹头可满足特定需求
·对缺陷或感兴趣的特征进行检测和分类的鲁棒分析
·检查和审查程序
·多系统同步
·占地面积小，设施要求zui少
·机架安装控件
3. 系统参数
重量：318 kg
外观尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm
zui小气压：24 in. Hg (70 kPa)
电源：110v/220v, 3.5 amps
光学器件：
照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
光源：白光LED(也可选其他)
物镜倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用户可选
工作台：
典型行程：200 mm，X和Y方向
定位：带有闭环编码器的线性伺服电机(分辨率为50 nm)
重复性：+/- 0.5 µm
行程平整度：30 µm
结构：精密地面滚道和交叉滚子轴承
支撑平台：显微镜/重型底座集成到隔离台中
中心负载能力：2.27 kg
重量：11.33 kg
尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm
备选功能：
AFM原子力显微镜：可根据要求提供规格
SECS/GEM
透射光
自动传送晶圆片
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