化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置

简要描述：LODAS™ – CI8是列真株式会社推出的一款化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置。

产品型号：CI8
厂商性质：代理商
产品资料：
更新时间：2024-11-09
访问量：3181

产品分类

Product Category

详细介绍

列真株式会社自创业以来，秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念，为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术，专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。其激光检测技术可同时收集激光的反射光，透射光以及共聚焦，可一次性检查第三代半导体SIC等材料表面，背面和内部的缺陷，可探测最小缺陷为100纳米，主要用于半导体光罩、LCD大型光罩的石英玻璃表面、内部、背面的缺陷检查。

特征：

SiC单晶晶圆和EPI晶圆都可以检查。
不仅是表面缺陷，内部缺陷和背面缺陷也同时检查。
有助于缺陷分析的4种Review图像。
“AI Classify”进行缺陷分类、好坏判定。
免维护。
世界FIRST用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合检查装置。
能检出至今为止检查不出的缺陷。

规格：

检查激光	405nm 200mW
检查时间	200sec（尺寸：4英寸）
检查对象	2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
设备尺寸	WxDxH＝450x500x730mm
使用电源	AC100V~200V 10A

应用：

SiC、GaN

半导体光罩（石英玻璃与涂层）

石英Wafer Si Wafer

HDD Disk LT Wafer

蓝宝石衬底

EUV光罩

光罩防尘膜

可全面检测表面、内部、背面的缺陷。

检出缺陷：颗粒、划痕、结晶缺陷。

外延缺陷衬底缺陷

胡萝卜型缺陷六方空洞缺陷

慧星缺陷层错缺陷

三角缺陷微管缺陷

边缘缺陷

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