FilmSense多波段椭偏仪

　　FilmSense多波段椭偏仪FS-1介绍

　　创新的

　　FilmSense FS-1多波段椭偏仪使用长寿命LED光源设计，使用寿命大于5000小时，同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲，FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。

　　强大的

　　大多数透明薄膜的膜厚度从0-1000nm都可以测量，FS-1提供不错的准确度与良好的稳定性，而且在1秒时间内就可以得到测量结果，同时光学常数n和k和其他性能也可以测量。

　　负担得起的

　　FS-1是多波段椭偏仪，但用户可以用相当于单波长椭偏仪或光谱反射仪系统的价格，却得到多波长椭偏仪的品质。FS-1可用于实验室研究，教学，在线制程监控，工业品质控制等应用。

什么是椭偏仪

　　椭偏仪是测量样品反射光偏振态的变化。椭偏测量是由下面的公式量化，是相位差。ρ是反射光的偏振光Rp和偏振光Rs的反射率比。椭偏仪ψ参数是和ρ的大小有关，Δ参数是相位复合比。

用椭偏数据来分析确定感兴趣的样品参数，如薄膜厚度和折射率，光学模型等

　　椭偏仪的优点：

　　1、椭偏仪是测量比率，所以它对光束强度的变化，或样品的缺陷引起散射光不敏感的。

　　2、椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ)，可以确定2个定量比如薄膜厚度，以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。

　　3、椭偏仪对薄膜Δ参数相位差极其敏感，能够准确的测量薄膜厚度低至0Å。

FilmSense多波段椭偏仪FS-1主要特点：

　　1、四种LED光源：蓝色(465nm)、绿(525nm)，黄色(580nm)，红色(635nm)

　　2、在没有运动部件的椭偏仪

　　3、优异的厚度测量精度，优于0.001nm的样品(1秒获得测量结果)，甚至适用于亚单原子层膜的厚度

　　4、集成计算机仪器控制和数据分析，任何电脑，台式机，手提都可以从web浏览器界面获得数据

　　优点

　　1.长寿命(>50000小时)，不用频繁更换昂贵的灯泡，或定时校正或周期维护。

　　2.快速多次测量(多波长数据在10毫秒)且长期可靠性

　　3.测量精度只有用椭偏仪才能达到

　　4.没有复杂的软件设置和维护

　　表现

　　FS-1测量透明单层膜的厚度和折射率,厚度测量范围从0到1000nm.经典的FS-1对多种样品都能提供稳定的测量，包括多层膜。如下表所示。如需有关测量技术和更多细节，请联系Film Sense并要求我们提供测量报告。

　　FS-1多波长椭偏仪优点

　　1.宽范围膜厚测量功能，对于透明膜至少可达1μm(无厚度周期性问题)。

　　2.测量更多的样品参数，如：表面粗糙度，多膜厚度，折射率色散。

　　3.提供一致性检验数据，分析一个合格?分析模型，该模型适用于四个波长的数据。

　　技术

　　1.多波长的椭偏技术

　　2.光学模型补偿的LED带宽

　　3.具备光束不对位的补偿功能

　　4.模型验证功能

　　应用

　　1、FS – 1是多波长椭偏仪，但用户可以用相当于单波长椭偏仪或光谱反射仪系统的价格，却得到多波长椭偏仪的品质。FS -1可用于实验室研究，教学，在线制程监控，工业品质控制等应用。

　　2、半导体行业：硅的氧化物和氮化物，高和低k介质、多晶和非晶硅薄膜，光刻胶

　　3、光学涂覆工业：高、低折射率薄膜如SiO2，TiO2，Ta2O5，MgF2，等。

　　4、显示行业：导电层(如ITO)，非晶硅薄膜、有机薄膜(OLED技术)

　　5、数据存储产业：类金刚石薄膜

　　6、R&D 工序：薄膜沉积的原位表征(速率和光学常数)对应工艺条件的变化值，适用于MBE、MOCVD、ALD、溅射等。

　　7、化学和生物：亚-单层材料吸附液体中的细胞实验检测

　　8、工业：在线监测和控制薄膜的厚度

　　光谱测量(通过光谱椭偏仪或光谱反射)有可能描述单个薄膜表征样品或2、3层膜结构。FS-1软件里的模型验证功能也可以成功确定一个特定的样本结构。

　　原位的能力

　　1.亚原子单层厚度精度

　　2.在真空环境中，测量多种工艺条件下薄膜光学常数n&k值以及沉积速率

　　3.监视和控制多层膜结构的沉积

　　4.FS?API接口为外部软件控制(LabVIEW兼容)

　　5.适用于大多数的薄膜沉积技术:溅射,ALD,MBE,MOCVD,电子束蒸发等。

原位检测功能

　　FS-1是理想的原位实时监测和控制薄膜沉积工艺的设备

　　1.LED光源和无运动部件检测器，坚固可靠，快速测量

　　2.结构紧凑，重量轻的光源和检测器单元(≈每个1公斤)

　　3.可选的适配器安装在标准的2.75?或1.33?的Conflat法兰(可以在不关闭真空的条件下进行安装)

　　4.易于调整平台倾斜

聚焦光束检测

　　聚焦光束检测系统结合了FS-1多波长的椭偏仪的聚焦光学系统和手动转换平台。该系统是半导体晶圆图案的手动检查和质量控制测量理想的工具。

　　•小光斑尺寸和相机成像运行

　　•手动转换平台，容纳4，5，和6晶圆直径。

　　•样品上的光束大小：0.3×0.7毫米

　　•视频观察样品上光束位置

软件

　　FS-1软件获得了椭偏数据，并报告样本参数(厚度、折射率，等等)，都源于测量。FS-1软件运行在电脑里面的FS-1探测器单元，和一个标准的Web浏览器提供了软件的用户界面。任何台式机，笔记本电脑，或平板电脑，支持现代Web浏览器(Windows，Mac OS X，Linux，iOS，Android)可以使用以太网连接操作的FS1(没有互联网和Web访问的情况 下)。从Web浏览器界面通讯主要优点是，无需安装软件，从而大大简化了FS-1的安装与操作设置。

　　单一的测量模式使得常规样品测量如点击按钮一样容易。

模型验证器验证所有的模型拟合参数将*地收敛在 的范围内。

分析模型的模式提供了强大的功能来分析和可视化 的FS-1椭偏数据。

特征

　　1、常规的样品检测，原位多层膜监控，多样品测量，和轨迹数据分析模式.

　　2、多达10个模型层，与可选的表面粗糙度，和衬底背面校正分析功能。

　　3、参数范围和初增量以提高拟合参数的匹配性.

　　4、Bruggeman介电常数近似以理论用于混合材料以及分级指标层分析

　　5、柯西和Sellmeier色散模型。

　　6、温度或成分相关的光学常数库文件。

　　7、去极化或透射强度数据可以结合多波长数据分析。

　　8、模拟单一测量或动态数据。

关于我们

　　Film Sense---拥有超过20年行业经验的椭偏仪制造商。20年如一日的严谨，为的是创造出的椭偏仪系统，为广泛范围的薄膜应用提供不错的测量解决方案。