岱美收到客户ThetaMetrisis FR-Scanner

该公司是中国碳化硅（SiC）第三代半导体掺杂技术研究及器件研发、设计、制成、应用、销售为一体的机构。是致力于大功率半导体芯片结构设计和外延生长、MOSFET、IGBT芯片设计与应用、第三代半导体功率器件封装与散热的探究者。

Thetametrisis 是从希腊国家科学研究发展中心独立发展出来的高科技公司，主要技术是使用光学反射光谱分析法去精确量测单层和多层厚度以及折射率，厚度的量测范围从几纳米到微米级别。

FR-Scanner（370nm-1020nm）是占地面积小的桌面式量测仪器，适用于自动量测晶圆上设定好不同位置的涂层厚度。FR-Scanner可以快速准确的量测薄膜特性，诸如厚度、折射率等。带有真空吸附的wafer stage可以测试不同大小以及形状的产品。

FR-Scanner 通过旋转晶圆片和高速度和精度(半径和角度)线性移动晶圆片进行扫描整个晶圆片，通过这种方式，可以记录具有高重复性的精确反射率数据，使FR-Scanner成为at-line及on-line测绘晶圆上的涂层或其他基片上涂层的理想工具。

FR-Scanner提供了广泛的应用配置，薄膜薄到几纳米，厚到几百微米，并配置专用的软件用于日常使用。FR-Scanner在准确性、精度、再现性和长期稳定性方面都提供了出色的性能。