膜厚仪又叫膜厚测试仪,可应用于在线膜厚测量,测氧化物,SiNx,感光保护膜和半导体膜。也可以用来测量镀在钢,铝,铜,陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉,干涉的发生与膜厚及折光系数等有关,因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损,精确且快速的光学薄膜厚度测量技术,薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜厚度。
膜厚仪符合了(GB/T 4957-2003)中的涡流法以及(GB/T 4956-2003)中的磁性法等相关标准。一般根据原理不同可分为3种类型,具体分析如下:
1、涡流测厚的原理,是利用高频交变电流在线圈中产生的电磁场,当测头和覆盖层接触时,金属基体上就会产生电涡流。并且会对测头中的线圈产生了反馈的作用,然后通过测量反馈作用的大小来导出覆盖层的厚度。适用于非磁性金属基体上(铜、铝、黄铜等)非导电涂层的测量(如涂料、阳极氧化层等)。如航天航空器表面、车辆等及其它铝制品表面的油漆,阳极氧化膜等。
2、磁性测厚的原理,是当测头和覆盖层接触时,测头和磁性金属基体构成的一闭合磁路,由于非磁性覆盖层的存在,会使磁路磁阻发生变化,根据变化就可以测出涂层的厚度。
3、荧光X射线型是通过X射线所散发出来的粒子,吸收能量之后变成稳定状态来测量厚度的,这种是科技发展的最新产物,通常被多种行业领域所使用。
不管是选择膜厚仪还是选择合适的仪器,这些都需要在选择和使用之前掌握相关的知识,比如在选购的时候,要注意了解行情,注意行业发展情况,选择仪器的时候需要明白设备的哪些参数,在使用的时候需要掌握相应的使用方法和维护方法等。