Herz 气浮式被动隔振台
       
      
      
         稳定、可靠、简单的安装
       
      
      
         高精度系统*的主动式防振系统
       
      
      
         国内、外公营及私营企业、政府单位、大学、研究所、FEI (即前Philips电镜部门)、以及多家精密测量仪器生产商都选择采用
       
      
      
         当中包括FEI、AFM生产商、中国科学院、香港**科技署、香港的多家大学、Heinrich Lab, Department of Biomedical Engineering, UC Davis、California Institute of Technology、Turner Research Group, College of Engineering, University of Wisconsin-Madison、Fertility Associates, New Zealand等
       
      
      
         可以提供样机对SEM/TEM 进行试用,同时可提供场地测量服务!
       
      
      
       Herz 气浮式被动隔振台
       TDI系列
       
      
      
       技术参数:
       
      
      
         减振方式:垂直方向-HERZ减振空气弹簧,水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
       
      
      
         空气弹簧数:4-6
       
      
      
         阻尼方式:垂直方向通过节流孔进行空气阻尼,水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
       
      
      
         固有频率:垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等大重量时)
       
      
      
         调平方式:带有3个机械式自动调平传感器
       
      
      
         供气方式:需要外部气源
       
      
      
         所需气压:0.3~0.7MPa(3~7kgf/c㎡) ※可选手动供气
       
      
      
         工作台材质:顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
       
      
      
         蜂窝板材质:铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
       
      
      
         表面处理:攻丝M-6・25mm矩阵标准加工(可选) 表面未涂漆(※带黑色涂料)
       
      
      
         承重力:150-1,000Kg(取决于具体型号)
       
      
      
         整体重量:140-2,763 Kg(取决于具体型号和面板材质)
       
      
      
         外形尺寸:取决于具体型号(107LA-6015LA)
       
      
      
       减振效果:
       
      
      
         TDI系列可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况。
       
      
      
      