Herz 气浮式被动隔振台
稳定、可靠、简单的安装
高精度系统*的主动式防振系统
国内、外公营及私营企业、政府单位、大学、研究所、FEI (即前Philips电镜部门)、以及多家精密测量仪器生产商都选择采用
当中包括FEI、AFM生产商、中国科学院、香港**科技署、香港的多家大学、Heinrich Lab, Department of Biomedical Engineering, UC Davis、California Institute of Technology、Turner Research Group, College of Engineering, University of Wisconsin-Madison、Fertility Associates, New Zealand等
可以提供样机对SEM/TEM 进行试用,同时可提供场地测量服务!
Herz 气浮式被动隔振台
TDI系列
技术参数:
减振方式:垂直方向-HERZ减振空气弹簧,水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
空气弹簧数:4-6
阻尼方式:垂直方向通过节流孔进行空气阻尼,水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
固有频率:垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等大重量时)
调平方式:带有3个机械式自动调平传感器
供气方式:需要外部气源
所需气压:0.3~0.7MPa(3~7kgf/c㎡) ※可选手动供气
工作台材质:顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
蜂窝板材质:铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
表面处理:攻丝M-6・25mm矩阵标准加工(可选) 表面未涂漆(※带黑色涂料)
承重力:150-1,000Kg(取决于具体型号)
整体重量:140-2,763 Kg(取决于具体型号和面板材质)
外形尺寸:取决于具体型号(107LA-6015LA)
减振效果:
TDI系列可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况。