薄膜应力及基底翘曲测试设备

美国FSM薄膜应力及基底翘曲测试设备

  在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

  1) 快速、非接触式测量

  2) 128型号适用于3至8寸晶圆

  128L型号适用于12寸晶圆

  128G 型号适用于470 X 370mm样品，

  另可按要求订做不同尺寸的样品台

  3) 双激光自动转换技术

  如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用

  另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用

  4) 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄(可选)

  5) 可加入更多功能满足研发的需求

  电介质厚度测量

  6) 500 及 900°C高温型号可选

  7) 样品上有图案亦适用

美国FSM薄膜应力及基底翘曲测试设备FSM128规格

  1) 测量方式: 非接触式(激光扫瞄)

  2) 样本尺寸:

  FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

  FSM 128G: /大550×650 mm

  3) 扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)

  4) 激光强度: 根据样本反射度自动调节

  5) 激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)

  6) 薄膜应力范围: 1 MPa — 4 GPa

  (硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

  7) 重复性: 1% (1 sigma)*

  8) 准确度: ≤ 2.5%

  使用20米半径球面镜

  9) 设备尺寸及重量:

  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

  电源 : 110V/220V, 20A