FR-pRo：Thetametrisis膜厚测量仪

简要描述：Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

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厂商性质：代理商
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更新时间：2024-01-19
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Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo概述：

FR-pRo膜厚仪: 按需搭建的薄膜特性表征工具。

FR-pRo膜厚仪是一个模块化和可扩展平台的光学测量设备，用于表征厚度范围为1nm-1mm 的涂层。

FR-pRo膜厚仪是为客户量身定制的，并广泛应用于各种不同的应用。

比如：

吸收率/透射率/反射率测量，薄膜特性在温度和环境控制下甚至在液体环境下的表征等等…

Thetametrisis膜厚测量仪FR-pRo应用：

1、大学&研究实验室

2、半导体行业

3、高分子聚合物&阻抗表征

4、电介质特性表征

5、生物医学

6、硬涂层，阳极氧化，金属零件加工

7、光学镀膜

8、非金属薄膜等等…

FR-pRo膜厚仪可由用户按需选择装配模块，核心部件包括光源，光谱仪（适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统）和控制单元，电子通讯模块。

此外，还有各种各种配件，比如:

1.用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架；

2.用于表征涂层特性的薄膜厚度工具；

3.用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒；

4.漫反射和全反射积分球。

通过不同模块组合，蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。

Specificatins 规格：

Model	UV/Vis	UV/NIR -EXT	UV/NIR-HR	D UV/NIR	VIS/NIR	D Vis/NIR	NIR
光谱范围 (nm)	200 – 850	200 –1020	200-1100	200 – 1700	370 –1020	370 – 1700	900 – 1700
像素	3648	3648	3648	3648 & 512	3648	3648 & 512	512
厚度范围	1nm – 80um	3nm – 80um	1nm – 120um	1nm – 250um	12nm – 100um	12nm – 250um	50nm – 250um
测量n*k 蕞小范围	50nm	50nm	50nm	50nm	100nm	100nm	500nm
准确度,*	1nm or 0.2%	1nm or 0.2%	1nm or 0.2%	1nm or 0.2%	1nm or 0.2%	2nm or 0.2%	3nm or 0.4%
精度,*	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.02nm	0.1nm
稳定性,*	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.15nm
光源	氘灯 & 钨卤素灯(内置)				钨卤素灯(内置)
光斑 (直径)			350um (更小光斑可根据要求选配)
材料数据库				> 600 种不同材料

Accessries 配件：

电脑	19 英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑
聚焦模块	光学聚焦模块安装在反射探头上，光斑尺寸＜100um
薄膜/比色皿容器	在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量
接触式探头	用于涂层厚度测量和光学测量的配件，适用于弯曲表面和曲面样品
显微镜	用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量
Scanner (motorized)	带有圆晶卡盘的Polar（R-Θ）或 Cartesian（X-Y）自动化样品台可选，Polar（R-Θ）样品台支持反射率测量，Cartesian（X-Y）样品台支持反射率和透射率测量
积分球	用于表征涂层和表面的镜面反射和漫反射
手动 X-Y 样品台	测量面积为 100mmx100mm 或 200mmx200mm 的x - y 手动平台
加热模块	嵌入FR-tool 中，范围由室温~200oC，通过FR-Monitor 运行可编程温控器(0.1 oC 精度).
液体模块	聚四氟乙烯容器，用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具，用于将样品插入可处理 30mmx30mm 样品的液体中
流通池	液体中吸光率、微量荧光测量

工作原理：

白光反射光谱(WLRS)是测量垂直于样品表面的某一波段的入射光，在经多层或单层薄膜反射后，经界面干涉产生的反射光谱可确定单层或多层薄膜（透明，半透明或全反射衬底）的厚度及 N*K 光学常数。

* 规格如有更改，恕不另行通知; ** 厚度测量范围即代表光谱范围，是基于在高反射衬底折射率为 1.5 的单层膜测量厚度。

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