产品分类
Product CategoryFR-Ultra是一种紧凑型设备,专门用于快速、准确和无损测量半导体材料的厚/超厚层及透明层。
Filmetrics F3-sX半导体薄膜测量仪可以测试众多半导体及电解层的厚度,可测大厚度达3毫米。此类厚膜,相较于较薄膜层表面较粗糙且不均
Filmetrics F32薄膜厚度测量仪 使用F32可以简单快速地在线测量膜厚。从对膜的顶部和底部反射光谱进行分析可得到实时厚度信息。
Filmetrics F60薄膜厚度测量仪 电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点,并在几秒钟内提供厚度测量。 选择数十种预定义的极坐标,矩形或线性地图模式中的一种,或创建自己的地图模式,不限制测量点的数量。 典型的49点图形大约需要45秒。
Filmetrics F40薄膜厚度测量仪 产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米
Filmetrics F54薄膜厚度测量仪能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米