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专为测量旋转对称样品的表面形貌和透明薄膜的厚度而设计,如金刚石车削光学表面和模塑或抛光的非球面透镜
适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪,纳米分辨率彩色共聚焦传感器(可配制点和线传感器),为在线过程测量和控制而设计,结构紧凑,易于上下片和操作,可配制成独立系统(X/Y/Z) 和附加升级至LAS (C/R/Z),多种样品处理能力
QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。