一、用途光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。二、工作原理在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以...

现在光刻机与我们的生活息息相关，我们用的手机，电脑等各种各样的电子产品，里面的芯片制作离不开光刻机。如今的世界是一个信息社会，各种各样的信息流在世界流动。而光刻机的技术是保证制造承载信息的载体。在社会上拥有不可替代的作用。光刻机的技术应用领域：平版印刷术用于在用户不希望影响其整个样品的工艺步骤（主要是沉积或蚀刻）之前对样品进行构图。在蚀刻之前，使用光刻技术来形成抗蚀剂保护层，该保护层仅将材料保留在存在抗蚀剂的位置（负图案）。在使用沉积光刻进行剥离之前，在沉积之后剥离抗蚀剂，仅...

近半个世纪以来，硅一直是世界科技繁荣的焦点，芯片制造商几乎都在压榨它的性能。传统上用于制造芯片的技术在2005年左右达到极限，芯片制造商不得不寻求其他技术，将更多的晶体管塞到硅上，从而制造出更强大的芯片。光刻机必须把工程师绘制的电路板精确无误地投到硅晶圆上，不允许有丝毫误差，可见难度之高！将晶体管封装到芯片上的传统工艺被称为“深紫外光刻”（DUV），这是一种类似摄影的技术，通过透镜聚焦光线，在硅晶片上刻出电路图案。受到物理定律的影响，这种技术可能很快就会出现问题。利用极紫外光...

光刻技术与我们的生活息息相关，我们用的手机、电脑等各种各样的电子产品，里面的芯片制作离不开光刻技术。如今的世界是一个信息社会，而光刻技术是制造承载信息的载体的关键技术，具有不可替代的作用。一、光刻技术的原理光刻就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来。利用光刻机上紫外光源发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上的图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用，类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上，而...

光刻机应用的光刻技术是将二维图案转印到平坦基板上的方法。可以通过以下两种基本方法之一实现图案化：直接写入图案，或通过掩模版/印章转移图案。限定的图案可以帮助限定衬底上的特征（例如蚀刻），或者可以由沉积的图案形成特征。通过计算机辅助设计（CAD）定义图案模式。多数情况下，这些特征是使用抗蚀剂形成的，可以使用光（使用光致抗蚀剂），电子束（使用电子束抗蚀剂）或通过物理冲压（不需要抗蚀剂，也叫纳米压印）来定义图案特征。图案的特征可以被转移到另一个层蚀刻，电镀或剥离。光刻机的用料：1、...