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  • EVG 510-晶圆键合机

    EVG 510-晶圆键合机 是用于研发或小批量生产的晶圆键合系统-与大批量生产设备*兼容。

    更新时间: 2024-03-19
    型号:
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 1393
  • EVG850 DB-自动解键合系统(晶圆键合机)

    EVG850 DB-自动解键合系统(晶圆键合机) 经过处理的临时键合晶圆叠层被分离和清洗,而易碎的设备晶圆始终在整个工具中得到支撑。支持的剥离方法包括UV激光,热剥离和机械剥离。

    更新时间: 2024-03-19
    型号:
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 1400
  • EVG 510-晶圆键合系统

    EVG 510-晶圆键合系统(EVG键合机) 是用于研发或小批量生产的晶圆键合系统-与大批量生产设备*兼容。

    更新时间: 2024-03-19
    型号:
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 2287
  • EVG620 BA自动晶圆键合对准机系统

    EVG620 BA自动晶圆键合对准机系统 用于晶圆间对准的自动化键合对准机系统,用于研究和试生产。

    更新时间: 2024-03-19
    型号:
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 1957
  • EVG610 BA晶圆对准设备

    晶圆缺陷检测设备专为晶圆与晶圆对准设计,晶圆尺寸大可达150 mm。EV Group键合对准系统提供手动高精度带有底部显微镜的校准台。EVG的键合对准系统的精度能满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中苛刻的对准要求。

    更新时间: 2024-03-19
    型号: EVG610 BA
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 3065
  • EVG805直接键合设备

    EVG805直接键合设备是一种半自动系统,用于剥离临时键合和加工的晶圆堆叠,包括器件晶圆,载体晶圆和中间临时键合胶。该工具支持热剥离或机械剥离。薄晶圆可以卸载在单个基板载体上,以便在工具之间安全可靠地转移。

    更新时间: 2024-03-19
    型号:
    厂商性质: 代理商
    浏览量: 5218
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