通过集成一对单点，非接触式，纳米分辨率的彩色共聚焦传感器与高速，纳米编码的X/Y/Z协调运动，QuickPRO-CUBE™捕获同步的前，后和基准表面3D点云地形，用于托盘中的单镜头或微镜头的几何表征。形式不变运动架构允许测量旋转对称和更复杂的非轴对称或自由形状，最大测量直径为50mm(高达75mm外径)。根据镜头直径和3D点云采样密度的不同，每个镜头每个表面的总测量时间从30秒到240秒不等。

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以实现的尺寸与结构测量内容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 测试)。

Filmetrics 3D光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。