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产品分类
Product Category详细介绍
硬化涂层膜厚仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，要求的光斑尺寸小到几个微米，如微图案表面，粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台计算机控 制的XY工作台，使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。品牌属于Thetametrisis。
Thetametrisis利用 FR-Mic，通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度，厚度映射，光学常数，反射率，折射率及消光系数进行测量。
【相关应用】
1.高校 & 研究所实验室
2.半导体制造
3.(氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)
4.MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)
5.LEDs, VCSELs
6.数据存储
7.阳极处理
8.曲面基底的硬镀及软镀
9.聚合物膜层, 粘合剂
10.生物医学(聚对二甲苯, 生 物膜/气泡壁厚度.)
11.还有许多…
【Thetametrisis膜厚仪特点】
1、实时光谱测量
2、薄膜厚度，光学特性，非均匀性测量， 厚度映射
3、使用集成的，USB连接高品质彩色摄像机进行成像
【Thetametrisis膜厚仪产品优势】
1、单击即可分析 (无需初始预测)
2、动态测量
3、包含光学参数 (n & k, color)
4、可保存测量演示视频录像
5、超过 600 种不同材料o 多个离线分析配套装置o 免费操作软件升级
【技术参数】
型号 |
UV/VIS |
UV/NIR-EXT |
UV/NIR-HR |
DUV/NIR |
VIS/NIR |
DVIS/NIR |
NIR |
|
光谱波长范围(nm) |
200–850 |
200–1020 |
200-1100 |
200–1700 |
370–1020 |
370–1700 |
900–1700 |
|
光谱仪像素 |
3648 |
3648 |
3648 |
3648&512 |
3648 |
3648&512 |
512 |
|
膜厚测量范围 |
5X-VIS/NIR |
15nm–60μm |
15nm–70μm |
15nm–90μm |
15nm–150μm |
15nm–90μm |
15nm–150μm |
100nm–150μm |
10X-VIS/NIR 10X-UV/NIR* |
4nm–50μm |
4nm–60μm |
4nm–80μm |
4nm–130μm |
15nm–80μm |
15nm–130μm |
100nm–130μm |
|
15X-UV/NIR* |
4nm–40μm |
4nm–50μm |
4nm–50μm |
4nm–120μm |
– |
– |
– |
|
20X-VIS/NIR 20X-UV/NIR* |
4nm–25μm |
4nm–30μm |
4nm–30μm |
4nm–50μm |
15nm–30μm |
15nm–50μm |
100nm–50μm |
|
40X-UV/NIR* |
4nm–4μm |
4nm–4μm |
4nm–5μm |
4nm–6μm |
– |
– |
– |
|
50X-VIS/NIR |
– |
– |
– |
– |
15nm–5μm |
15nm–5μm |
100nm–5μm |
|
测量n&k蕞小厚度 |
50nm |
50nm |
50nm |
50nm |
100nm |
100nm |
500nm |
|
光源 |
氘灯&卤素灯(internal) |
卤素灯(internal) |
||||||
材料数据库 |
>600不同材料 |
|||||||
*测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和 FR-uProbe 的孔径大小有关。
物镜 |
光斑尺寸(μm) |
||
500μm孔径 |
250μm孔径 |
100μm孔径 |
|
5x |
100μm |
50μm |
20μm |
10x |
50μm |
25μm |
10μm |
20x |
25μm |
17μm |
5μm |
50x |
10μm |
5μm |
2μm |
【工作原理】
*规格如有更改，恕不另行通知, 测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较, 连续 15 天测量的标准方差平均值。样品：1um SiO2 on Si., 100 次厚度测量的标准方差，样品：1um SiO2 on Si.
*超过 15 天的标准偏差日平均值样品：1um SiO2 on Si。
以上资料来自Thetametrisis，如果有需要更加详细的信息，请联系我们获取。
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