位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式、电感式、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式、霍尔式等。位移传感器主要用于设备位移测量与位置定位，质量的优劣直接决定了机械设备测量精度与控制效果的好坏。安装好位移传感器后，出现...

光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。光学轮廓仪工作原理：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。3D形貌地图配合色谱图，非常直...

微波等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。简述了微波等离子清洗机的原理及特点，介绍了设备的构成、清洗工艺和模式，对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究；通过工艺验证，微波等离子清洗降低了接触角度，提高了引线键合强度。等离子体是物质存在的一种基本形态（被称为物质的第四态），是由原子，电子，分子，离子或自由基组合而成，等离子清洗就是通过物理、化学作用对被清洗物表面进行处理，实现去除分子水平污染物的一种工艺过程，同时...

纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，是测试材料力学性质的方法之一，可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。影响纳米压痕试验的因素很多，主要影响因素可归纳为以下几种：1.接触零点的确定2.力和位移的测定包括环境波动的影响和磁场强度所引起的变化3.卸载曲线...

直接键合设备可以配置用于研发，中试线或大批量生产，以及任何基于直接或中间层的键合工艺，包括复杂的低温共价键合。凭借这些技术和设备组合，EVG占领了封装和3D集成，MEMS以及的化合物半导体和SOI基板的市场，保持了地位和主导*。直接键合设备应用系统说明：1、粘接系统：直接键合设备可提供的总体拥有成本(TCO)，并具有多种设计功能可优化键合良率。针对MEMS，3D集成或高级封装中的不同市场需求，针对键合对准的多个模块进行了优化。2、临时粘接系统：临时键合是为薄晶圆或薄薄晶圆提供...