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FSM 128薄膜应力及基底翘曲测试设备
PhaseCam 4030动态激光干涉仪
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能动态干涉仪
FSM413红外激光测厚仪
Delcom 非接触式电阻测试
Microsense 5810/6810电容式位移传感器
Nano X-2000S白光干涉仪
RTEC 白光干涉仪+共聚焦一体机
PLS-F1000/F1002晶圆几何形貌及参数自动检测机
FR-Mic全自动带显微镜多点测量
FSM 500TC高温薄膜应力及基底翘曲测试设备
DVIA-TDaeil 台式主动防振台
FR-Mic全自动带显微镜多点测量膜厚仪
EVG810 LT 低温等离子活化系统
等离子去胶
OptoScan 600光学粗糙度测试仪
Stefan Mayer MR-3 主动消磁系统
IQ Aligner NT自动掩模对准系统